B81B 7/00 - Микроструктурные системы [7]
7/02
.
содержащие отдельные электрические или оптические устройства, необходимые для их функционирования, например микроэлектромеханические системы (МЭМС) (
B81B 7/04
имеет преимущество) [7]
7/04
.
Схемы или матрицы микроструктурных элементов [7]